Исследование методов синтеза тонких пленок карбида кремния на различных подложках [Электронный ресурс] : 6D074000 - Наноматериалы и нанотехнологии : диссертация на соискание ученой степени доктора философии (PhD) / Р. Е. Бейсенов ; науч. рук.: З. А. Мансуров, А. Игнатьев (США), С. Ж. Токмолдин... – [Алматы] : [б. и.], 2013. - Электрон. текстовые дан., 1 электрон. опт. диск (CD-ROM); в контейнере, 12х14 см – (
. - Загл. взято с контейнера . – Библиогр.: с. 98-103 . – [б. т.] – не указан : 300 тг.
Целью настоящей диссертационной работы является получение тонких, эпиктасиальных пленок карбида кремния приборного качества методами пульсирующего лазерного осаждения и металлоорганического химического парофазного осаждения на подложках кремния и сапфира